পণ্য ওভারভিউ
হেক্সাফ্লুরোইথেন (C₂F₆) হল একটি সম্পূর্ণ ফ্লোরিনেটেড, স্যাচুরেটেড ফ্লুরোকার্বন যৌগ, যা একটি বর্ণহীন, গন্ধহীন, অ{0}}দাহ্যযোগ্য এবং অ{1}}মান অবস্থার অধীনে বিষাক্ত গ্যাস হিসেবে দেখা যায়। একটি সমালোচনামূলক ইলেকট্রনিক বিশেষত্ব গ্যাস হিসাবে, হেক্সাফ্লুরোইথেন এর ব্যতিক্রমী রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং চমৎকার এচিং নির্বাচনের জন্য মূল্যবান, এটিকে সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স উত্পাদনে অপরিহার্য করে তোলে। কঠোর পরিশোধন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে উত্পাদিত, আমাদের উচ্চ-বিশুদ্ধতা হেক্সাফ্লুরোইথেন উন্নত ইলেকট্রনিক অ্যাপ্লিকেশনগুলির সঠিক প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে যেখানে অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং ন্যূনতম অমেধ্যগুলি সর্বাগ্রে।
মৌলিক তথ্য
| CAS নং | 76-16-4 |
| জাতিসংঘ নম্বর | UN2193 (হেক্সাফ্লুরোইথেন, সংকুচিত) |
| আণবিক সূত্র | C₂F₆ |
| বিপদ শ্রেণীবিভাগ | 2.2 (অ-দাহনীয়, অ-বিষাক্ত গ্যাস) |
মূল বৈশিষ্ট্য এবং পরামিতি
| বিশুদ্ধতা | 99.999% (5N গ্রেড স্ট্যান্ডার্ড) এর চেয়ে বড় বা সমান, উচ্চতর গ্রেড উপলব্ধ। |
| জটিল অমেধ্য (সাধারণ বৈশিষ্ট্য) |
অক্সিজেন (O₂) নাইট্রোজেন (N₂): 2 পিপিএম এর কম বা সমান আর্দ্রতা (H₂O): 1 পিপিএম এর কম বা সমান মোট ধাতু আয়ন: 10 ppb এর কম বা সমান |
| স্ফুটনাঙ্ক | -78.2 ডিগ্রী |
| ক্রিটিক্যাল টেম্পারেচার | 19.7 ডিগ্রী |
| বাষ্পের চাপ (21.1 ডিগ্রিতে) | ৩.৩৩ এমপিএ অ্যাবস |
| ঘনত্ব (গ্যাস, 25 ডিগ্রি) | ~7.85 kg/m³ (আনুমানিক. 5x বাতাসের চেয়ে ঘন) |
বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধা
উচ্চ রাসায়নিক এবং প্লাজমা স্থায়িত্ব
শক্তিশালী সি-এফ বন্ডগুলি প্লাজমা পরিবেশে স্থিতিশীল, নিয়ন্ত্রিত পচন প্রদান করে, সুনির্দিষ্ট এচিংয়ের জন্য সক্রিয় ফ্লোরিন র্যাডিকেল তৈরি করে।
সুপিরিয়র এচিং সিলেক্টিভিটি
সিলিকন, সিলিকন ডাই অক্সাইড, সিলিকন নাইট্রাইড, এবং ফটোরেসিস্টের মধ্যে অত্যন্ত সুরক্ষিত এচ রেট অনুপাত অফার করে, যা উন্নত নোডগুলির জন্য পরিশীলিত প্যাটার্ন স্থানান্তর সক্ষম করে।
চমৎকার অস্তরক এবং অন্তরক বৈশিষ্ট্য
এর উচ্চ অস্তরক শক্তি এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা এটিকে বিশেষ বৈদ্যুতিক নিরোধক অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
প্রক্রিয়া সামঞ্জস্যতা এবং প্রশস্ত উইন্ডো
প্রমিত সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন টুলস (যেমন, ICP, CCP etchers) এর সাথে প্রমাণিত সামঞ্জস্য, নির্মাতাদের জন্য একটি বিস্তৃত এবং স্থিতিশীল প্রক্রিয়া উইন্ডো অফার করে।
কার্যকরী বৈশিষ্ট্য
প্লাজমা ভিত্তিক প্রক্রিয়াগুলিতে, হেক্সাফ্লুরোইথেন ফ্লোরিন র্যাডিকেল (F*) এবং বিভিন্ন CFx আয়ন তৈরি করতে পচে যায়। এটি এটিকে প্রাথমিকভাবে কাজ করার অনুমতি দেয়:
1. একটি যথার্থ ইচ্যান্ট: উচ্চ নির্বাচন এবং প্রোফাইল নিয়ন্ত্রণ সহ সিলিকন, পলিসিলিকন এবং বিভিন্ন ডাইলেক্ট্রিক ফিল্মের অ্যানিসোট্রপিক এচিং সক্ষম করে।
2. একটি চেম্বার ক্লিনিং এজেন্ট: চেম্বারের উপাদানগুলিকে ক্ষতিগ্রস্থ না করে রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এবং এচ চেম্বারের অভ্যন্তরীণ থেকে কার্যকরভাবে সিলিকন ভিত্তিক অবশিষ্টাংশগুলিকে সরিয়ে দেয়৷
3. একটি ক্যারিয়ার / তরল গ্যাস: গ্যাসের মিশ্রণে প্লাজমা রসায়নকে মডিউল এবং স্থিতিশীল করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।
প্রাথমিক আবেদন ক্ষেত্র
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন
পলিসিলিকন গেট প্যাটার্নিং, অগভীর ট্রেঞ্চ আইসোলেশন (STI), এবং ডাইলেকট্রিক (SiO₂, লো-k) এর মাধ্যমে/ট্রেঞ্চ এচিং-এর জন্য কী এচ্যান্ট। ইন-সিটু চেম্বার পরিষ্কারের জন্য অপরিহার্য।
ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে (FPD) উত্পাদন
প্যাটার্নিং পাতলা-ফিল্ম ট্রানজিস্টর (TFT) অ্যারে এবং OLED ডিসপ্লেগুলির মাইক্রো-ফেব্রিকেশনে ব্যবহৃত হয়।
ফটোভোলটাইক্স
সিলিকন-ভিত্তিক এবং পাতলা-ফিল্ম সোলার সেল ম্যানুফ্যাকচারিং-এ টেক্সচারিং এবং প্যাটার্নিং।
অন্যান্য অ্যাপ্লিকেশন
একটি রেফ্রিজারেন্ট (R116), বৈদ্যুতিক সরঞ্জামগুলিতে একটি অন্তরক গ্যাস এবং লেজারগুলিতে একটি বাফার গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত হয়।
গ্রাহক সহযোগিতা মামলা
একটি নেতৃস্থানীয় সেমিকন্ডাক্টর ফাউন্ড্রি তাদের 28nm লজিক চিপ কন্টাক্ট হোল এচ প্রক্রিয়াকে অপ্টিমাইজ করতে আমাদের সাথে অংশীদারিত্ব করেছে, যা সাইডওয়াল রুক্ষতা এবং এচ অভিন্নতার সাথে চ্যালেঞ্জের সম্মুখীন হয়েছে। আমরা একটি কাস্টমাইজড হেক্সাফ্লুরোইথেন-ভিত্তিক গ্যাস মিশ্রণ তৈরি করেছি (O₂ এবং Ar সহ) তাদের নির্দিষ্ট এচ টুল (প্রয়োগিত উপাদান সেন্টুরা) এর জন্য তৈরি। আমরা ধাতব অমেধ্য সহ 99.9995% অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা হেক্সাফ্লুরোইথেন সরবরাহ করেছি<5 ppb and implemented a real-time gas monitoring system. This collaboration resulted in a 40% reduction in sidewall roughness (from 5.2nm to 3.1nm), improved within-wafer uniformity from ±8% to ±4%, and enhanced critical dimension control by 25%. The successful gas formulation was adopted as their standard process, contributing to a 3.2% increase in production yield and establishing a joint development framework for sub-10nm node etch solutions. This case highlights how our high-purity hexafluoroethane and application expertise directly enable advanced manufacturing.
প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্ন
গরম ট্যাগ: hexafluoroethane, চীন hexafluoroethane প্রস্তুতকারকের, সরবরাহকারী, কারখানা
